往复式真空泵(又称活塞式真空泵)是干式真空泵；它是依靠汽缸内的活塞作往复运动来吸入和排出气体的。

往复式真空泵有卧式和立式两类。但常用的是卧式活塞真空泵；活塞真空泵又有单缸和双缸之分。其排气阀的结构有滑阀式和自由阀式。

往复真空泵的特点是，不怕水蒸气，牢固，操作容易等。

极限真空度

但其极限真空度不太高：

如滑阀式单级真空泵的极限真空度，为1lTorr (1 Torr= 133. 321'a)滑阀式双级真空泵的极限真空度，为0. 05- 0. 2Torr。

自由阀式单级真空泵的极限真空度，为1020Torr，往复式真空泵的抽速范围，为45-20000立方每小时。

它主要用于从密闭容器中或反应釜中抽除空气或其他气体；

除非采取特殊措施，一般往复式真空泵不适用于抽除腐蚀性的气体或带有颗粒灰分的气体；

其被抽气体的温度，一般不超过35度。

此外，在下列条件下使用真空泵时必须加装附属装置：

（1）被抽气体中含有灰尘时，在进气管前必须加装过毽器；

（2）被抽气体中含有大量的蒸汽时，在进气管前必须加装冷凝器。

（3）被抽气体中含有腐蚀性气体时，在进入真空泵之前必须加装中和装置；

（4）被抽气体的温度超过35℃时。要加装冷却装置；

（5）被抽气体中含有大量液体时，在进气管前必须加装分离器；

（6）泵的启动电流往往超过电机额定电流的数倍，所以必须配用相当的启动开关。